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随着硅、微细加工技术、超大规模集成电路技术、材料制造和特征研究的迅速发展,将压力传感器应用于光纤传感器、高温硅压阻传感器和压电结传感器的大规模生产成为可能,压力传感器在生物医学、微机械等行业有着广阔的应用前景。 传感器技术是现代测量和自动化系统的关键技术之一。 从宇宙的迅速发展到海底的探索,从生产过程的控制到现代文明的生活,大部分技术都离不开传感器。 因此,很多国家都非常重视传感器技术的迅速发展。 例如,在日本,传感器技术被列举为6个核心技术之一(计算机、通信、激光、半导体、超导体、传感器)。 在各种传感器中,压力传感器具有体积小、重量轻、灵敏度高、稳定可靠、价格低、易于集成等优点,可广泛应用于压力、高度、加速度、液体流量、流量、液位和压力的测量与控制。 另外,还广泛应用于水利、地质、气象、化工、医疗卫生等行业。 由于该技术是平面技术与三维加工的结合,易于集成,可用于血压计、风速计、水速表、压力计、电子秤和自动报警装置的制作。 压力传感器已成为各种传感器中技术最成熟、性能最稳定、性价比最高的传感器。 因此,从事现代测量和自动控制的技术人员必须了解和熟悉国内外压力传感器的研究现状和快速发展趋势。
世界压力传感器的迅速发展趋势主要包括以下方向。
静电电容式真空压力传感器
e·h公司的静电电容式压力传感器由1块基板和厚度0.8 ~ (-1 )的氧化铝()构成,用自熔环进行钎焊。 该环具有隔离功能,不需要温度补偿,可以保持长时间测量的可靠性和持续的准确性。 测量方法使用电容原理。 基板上的一个电容cp位于位移最大的膜片中心,另一个参照电容cr位于膜片的端部。 由于边缘不易位移,电容值不变,cp的一些变化与施加压力的变化有关。 膜片的位移和压力的关系是线性的。 过载时,附着在基板上的膜片不会破损,无负载时,立即返回原来的位置,没有迟滞。 过载量可以达到100%,损坏也不会泄漏任何污染介质。 因此,有广阔的应用前景。
标签: #国内压力传感器最新研究动向
标题:“现代风险管理快速发展的历程 中国经济快速发展趋势”
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